400 m2 de salle blanche
- 400m2 de salle blanche rassemblant les principaux moyens de fabrication et de test de circuits intégrés sur silicium, conçues principalement pour la pédagogie
Équipements
- 4 machines d’alignement de masques MJB4
Fours
- 5 fours comprenant 8 tubes:
- 3 tubes d’oxydation thermique
- 1 tube de diffusion thermique (phosphore)
- 1 tube de diffusion thermique (bore)
- 2 tubes LPCVD de dépôt (oxyde : 1 – polysilicium :1 )
- 2 tubes de recuit
Équipements
- 1 implanteur ionique (dopage bore BF3 & phosphore PH3, 20keV à 200keV)
- 1 ralentisseur d’ion pour implanteur ionique
Équipements
- 2 équipements de dépôt métal sous vide :
- Par pulvérisation cathodique
- Par évaporation par effet joule
- 1 gravure ionique réactive
Équipements
- 1 machine de délaquage plasma
- 2 polisseuses
- 1 scie diamantée, 1 machine de découpe par pointe diamant
- 1 machine de soudure sur embase par eutectique
- 3 microsoudeuses de fils par ultrasons
Équipements de caractérisation
- 1 résistivimètre 4 pointes
- 1 profilomètre
- 2 simulateurs solaires 1000W
- 1 ellipsomètre
- 1 comparateur
- 1 appareil de mesure de profondeur de jonction
- 3 Microscopes à force atomique
- 1 microscope à fluorescence
- 1 micro balance à quartz
- 1 microscope électronique à balayage
- Plusieurs microscopes optiques
- 1 instrument de tracé de profil de dopage
- 1 testeur sous pointes manuel
- 1 testeur sous pointes automatique
- 2 traceurs de caractéristiques analogiques
- 1 oscilloscope numérique
- 2 impédancemètres (caractérisation C(V))
- 2 analyseurs de paramètres semi-conducteurs (caractérisation I(V))
- 1 picoampèremètre
- 1 générateur de fonctions