Salle blanche – Moyens techniques et équipement

  • Équipements pour la réalisation de composants et circuits intégrés:
    • 5 fours comprenant 8 tubes:
      • 3 tubes d’oxydation thermique
      • 1 tube de diffusion thermique (phosphore)
      • 2 tubes LPCVD de dépôt (oxyde : 1 – polysilicium :1 )
      • 2 tubes de recuit
    • 1 implanteur ionique  (dopage bore BF3 & phosphore PH3, 20keV à 200keV)
    • 1 ralentisseur d’ion pour implanteur ionique
    • 2 équipements de dépôt métal sous vide :
      • pulvérisation cathodique
      • évaporation par effet joule
    • 1 gravure ionique réactive
    • 1 machine de délaquage plasma
    • 3 machines d’alignement de masques MA750
    • 1 machine d’alignement de masques (0,7µm) et de printing (0,5µm) MJB4
    • 2 polisseuses
    • 1 scie diamantée, 1 machine de découpe par pointe diamant
    • 1 machine de soudure sur embase par eutectique
    • 3 microsoudeuses  de fils par ultrasons
    • Centrifugeuses de dépôt résine, plaques chauffantes, étuves
    • bains thermostatés, bain ultrasons
    • laveur sécheur, centrifugeuses de séchage,…
  • Équipements de caractérisation:
    • 1 résistivimètre 4 pointes
    • 1 profilomètre
    • 1 simulateur solaire 300W
    • 1 ellipsomètre
    • 1 comparateur
    • 1 appareil de mesure de profondeur de jonction
    • 3 Microscopes a force atomique
    • 1 microscope à fluorescence
    • 1 micro balance à quartz

    • 1 microscope électronique à balayage
    • plusieurs microscopes optiques
    • 1 instrument de tracé de profil de dopage
    • 1 testeur sous pointes manuel
    • 1 testeur sous pointes automatique
    • 2 traceurs de caractéristiques analogiques
    • 1 oscilloscope numérique
    • 2 impédancemètres (caractérisation C(V))
    • 2 analyseurs de paramètres semi-conducteurs (caractérisation I(V))
    • 1 picoampèremètre
    • 1 générateur de fonctions
  • Infrastructure technique
    • Ensemble de distributeur des gaz purs: Ar, O2, H2, N2/H2, CHF3, SF6, SiH4
      + infrastructure prévue pour gaz supplémentaires : SiH2Cl2, NH3, PH3)
    • 1 centrale de stockage d’azote liquide
    • 2 systèmes de détection de gaz toxiques complémentaires
    • 1 centrale de production d’eau désionisée 18 MOhm.cm
    • 1 centrale de distribution d’eau de refroidissement
    • 2 centrale de traitement d’air et de climatisation des salles blanches
    • 1 compresseur d’air
    • 2 pompes à vide de service
    • 1 système de détection d’incendie (détecteurs de fumée, extincteurs)